氣氛爐抽真空的幾種方式氣氛爐抽真空的幾種方式各有千秋，選擇何種方式往往取決于具體的工藝需求、設(shè)備條件以及成本考量。

一種常見的方式是采用機(jī)械泵抽真空。機(jī)械泵通過其內(nèi)部的機(jī)械結(jié)構(gòu)，不斷將爐內(nèi)的氣體抽出，直至達(dá)到所需的真空度。這種方式操作簡(jiǎn)便，成本相對(duì)較低，適用于大多數(shù)普通氣氛爐的抽真空需求。然而，機(jī)械泵的抽真空速度可能受限于其設(shè)計(jì)原理和泵的極限真空度，對(duì)于真空度的要求可能力不從心。

另一種高效的方式是使用分子泵抽真空。分子泵通過高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，將氣體分子撞擊并拋出爐外，其抽真空速度極快，且能達(dá)到的真空度。但分子泵的成本較高，且需要配備前級(jí)泵以排除大氣壓至低真空范圍的氣體，因此更適合對(duì)真空度有要求的場(chǎng)合。

除此之外，擴(kuò)散泵也是一種常用的抽真空方式。它利用油蒸汽在泵體內(nèi)形成的高真空環(huán)境，通過擴(kuò)散作用將爐內(nèi)的氣體分子排出。擴(kuò)散泵適用于需要中等到高真空度的場(chǎng)合，其成本適中，但需要定期更換泵油以保持其性能。

隨著科技的進(jìn)步，還有一些新型的抽真空技術(shù)正在不斷涌現(xiàn)，如低溫泵、離子泵等。這些新技術(shù)在抽真空效率、極限真空度以及穩(wěn)定性等方面都有顯著的提升，但相應(yīng)地，其成本和技術(shù)難度也較高。

活塞式真空泵抽真空

• 工作原理：利用活塞在氣缸內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，改變氣缸的容積，從而實(shí)現(xiàn)吸氣和排氣過程。當(dāng)活塞向外運(yùn)動(dòng)時(shí)，氣缸容積增大，腔內(nèi)壓力降低，氣體從被抽容器通過吸氣閥進(jìn)入氣缸；當(dāng)活塞向內(nèi)運(yùn)動(dòng)時(shí)，氣缸容積減小，氣體被壓縮，壓力升高，通過排氣閥排出氣缸，如此循環(huán)達(dá)到抽真空的目的。

• 特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，制造和維護(hù)成本較低，適用于對(duì)真空度要求不特別高的場(chǎng)合，可獲得的極限真空度一般在 102 - 103Pa 左右。但抽氣速度相對(duì)較慢，且在較高真空度下，由于氣體稀薄，抽氣效率會(huì)顯著降低。

旋片式真空泵抽真空

• 工作原理：主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片等部件組成。轉(zhuǎn)子偏心地安裝在定子腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片在離心力和彈簧力的作用下緊貼定子內(nèi)壁滑動(dòng)。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)一周，完成一次吸氣、壓縮和排氣過程。隨著轉(zhuǎn)子的連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，不斷地將氣體從被抽容器中抽出并排出泵外，從而使容器內(nèi)的壓力逐漸降低，達(dá)到抽真空的目的。

• 特點(diǎn)：具有體積小、重量輕、抽氣速率快、噪音低等優(yōu)點(diǎn)，能在較寬的壓力范圍內(nèi)有較高的抽氣速率，極限真空度一般可達(dá) 10?2 - 10?3Pa，適用于對(duì)真空度要求較高的氣氛爐。不過，它對(duì)被抽氣體中的灰塵和水汽比較敏感，需要配備相應(yīng)的過濾和干燥裝置。

羅茨真空泵抽真空

• 工作原理：羅茨真空泵的泵腔內(nèi)有兩個(gè) “8" 字形的轉(zhuǎn)子，它們相互嚙合但不接觸，由同步齒輪帶動(dòng)做反向等速旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)過程中，轉(zhuǎn)子與泵殼之間形成封閉空間，氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入這些封閉空間，隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)，封閉空間內(nèi)的氣體被輸送到排氣口排出，從而實(shí)現(xiàn)抽氣過程。由于羅茨真空泵的抽氣過程主要是靠轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)來推動(dòng)氣體，而不是靠壓縮氣體來排氣，所以它在較低壓力下仍能保持較高的抽氣速率。

• 特點(diǎn)：最大的特點(diǎn)是在高真空區(qū)域有很高的抽氣速率，能大大縮短抽真空的時(shí)間，通常與旋片式真空泵等前級(jí)泵配合使用，組成機(jī)組，可獲得 10?3 - 10??Pa 甚至更高的真空度，適用于需要快速獲得高真空度的氣氛爐，但羅茨真空泵不能單獨(dú)從大氣壓下開始抽氣，必須有前級(jí)泵配合。

擴(kuò)散泵抽真空

• 工作原理：以低壓、高速運(yùn)動(dòng)的油或汞蒸汽流作為工作介質(zhì)，當(dāng)被抽氣體分子擴(kuò)散到蒸汽流中時(shí)，會(huì)被蒸汽流攜帶到泵的出口，然后由前級(jí)泵抽走。在擴(kuò)散泵內(nèi)，蒸汽從噴口高速噴出，在泵壁附近形成低壓區(qū)域，被抽氣體分子由于壓力差而向低壓區(qū)域擴(kuò)散，并被蒸汽流帶向泵的下部，通過排氣口排出泵外。

• 特點(diǎn)：可以獲得的真空度，通常能達(dá)到 10?? - 10??Pa 甚至更低，適用于對(duì)真空度要求的氣氛爐，如用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等領(lǐng)域的氣氛爐。但擴(kuò)散泵需要有前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力，且工作時(shí)需要加熱油或汞等工作介質(zhì)，啟動(dòng)時(shí)間較長(zhǎng)，對(duì)工作環(huán)境和操作要求較高。

分子泵抽真空

• 工作原理：利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子與氣體分子之間的碰撞和動(dòng)量傳遞來抽氣。轉(zhuǎn)子上有許多傾斜的葉片，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體分子與葉片發(fā)生碰撞，被葉片帶著向排氣口方向運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)抽氣。分子泵在高真空下，氣體分子的平均自由程較大，分子與葉片的碰撞概率增加，抽氣。

• 特點(diǎn)：抽氣速度快，能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到高真空度，極限真空度可達(dá)到 10?? - 10??Pa，且對(duì)清潔的氣體有很好的抽氣效果，適用于對(duì)真空度和清潔度要求的氣氛爐，如在一些科研實(shí)驗(yàn)和精密儀器制造中的氣氛爐。不過，分子泵價(jià)格較高，對(duì)使用環(huán)境和操作要求嚴(yán)格，且不能抽除高沸點(diǎn)的蒸汽和含顆粒的氣體。

綜上所述，氣氛爐的抽真空方式多種多樣，選擇時(shí)應(yīng)綜合考慮工藝需求、設(shè)備條件以及成本等因素，以達(dá)到最佳的抽真空效果。