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GRYLLS 5950高精度質量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
GRYLLS 5950高精度質量流量控制器參數(shù) 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質量流量控制器支持數(shù)字量輸入/輸出,設備自體可帶多功能觸摸顯示屏，亦可采用流量計算機控制和顯示流量，可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。
標準參數(shù)(有關選配項，請聯(lián)系Grylls） | |
產品性能參數(shù) | 5950系列質量流量控制器 |
精度（調零后標準條件下） | ± 1%Full Scale |
高精度選項（調零后標準條件下） | ±0.5% of Full Scale |
重復性 | ± 0.2%Full Scale |
零點漂移和滿量程漂移 | 0.025% Full Scale / oCelsius / Atm |
工作范圍和量程比 | 2% to 100% Full Scale / 50:1 (100:1 optional) |
最大可控流量 | 100% Full Scale |
最大可測流量 | 100% Full Scale |
典型響應時間 | <200 ms |
泄露率 | 1×10-9 atm ·cc/s He |
運行工況 | 5950系列質量流量控制器 |
標準工況(STP) | 25oC & 14.696 psia (standard — others available on request) |
工作溫度 | 0 to +50 oCelsius |
工作濕度范圍（不冷凝） | 0 to 90% |
最大耐壓 (靜壓) | 145 psi(g)/10bar(g) optional:435psi(g)/30bar(g)Max1450psi(g)/100bar(g) |
工作壓差 (入口到出口) | Under 500slm:72.5psi(d)/5bar(d);Above 500slm:145psi(d)/10bar(d) |
對安裝方向的要求 | Full Scale:None |
閥門類型 | Normally Closed |
防護等級 | IP40(IP65 optional) |
接觸介質的材質 | 316L 、417J1 不銹鋼、氟橡膠、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、硅、玻璃等。 |
GRYLLS 5950高精度質量流量控制器采用熱式原理，預熱時間短，精度可達0.5%F.S.，零飄小，管狀分流，不易堵塞，適用于各種低壓和高壓管道，流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加出色,產品支持 RS-232 Serial / RS-485 Serial / Modbus RTU / PROFIBUS / EtherNet/IP/ DeviceNet / Modbus TCP/IP / EtherCAT / PROFIBUS-DP通訊協(xié)議。Grylls5950系列由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
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