1. 高精度：臺階儀可實現(xiàn)納米級別的測量，能夠揭示微觀結構的細節(jié)和特征。
2. 大行程超精密平面掃描：具備70mm的大行程，優(yōu)于20nm/2mm，能夠高效地獲取表面形貌數(shù)據。
3. 大帶寬大行程納米微動臺：擁有80um的大行程和10kHZ的頻率，能夠快速獲取樣品的形貌數(shù)據。
4. 超微壓力恒定控制：具備0.5mN到15mN的壓力范圍控制，確保制作過程中的穩(wěn)定性和一致性。
功能和作用介紹
作為超精密接觸式微觀輪廓測量儀，澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導體領域有著廣泛的應用。其主要功能和作用包括：
1. 測量微米和納米結構：可測量膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等微米和納米級結構。
2. 檢測表面缺陷和形貌：能夠檢測半導體材料表面的缺陷和形貌，為半導體器件的開發(fā)和生產提供可靠的數(shù)據支持。
3. 提高生產效率：具備高速掃描的能力，能夠快速獲取樣品的形貌數(shù)據，提高生產效率。
澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導體領域的應用具有以下優(yōu)勢：
1. 高精度的測量能力：具備亞埃級分辨率，能夠滿足半導體制造中對微觀表面形貌的高精度測量需求。
2. 快速測量的能力：配備精密的位移臺和旋轉平臺，能夠快速獲取表面的高程數(shù)據，提高測量效率。
3. 廣泛的適用范圍：可對各種不同材料的表面進行測量，包括金屬、塑料、玻璃等材料，適用于不同的半導體制造工藝和材料。
澤攸科技JS系列高精度臺階儀在半導體領域的應用，通過其先進的掃描探針技術和*的性能特點，為半導體器件的制造和品質控制提供了可靠的技術支持，有助于推動我國半導體產業(yè)的發(fā)展和國產化進程。
安徽澤攸科技有限公司是一家具有完全自主知識產權的科學儀器公司， 自20世紀90年代開始投入電鏡及相關附件研發(fā)以來，研發(fā)團隊一直致力于為納米科學研究提供*的儀器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統(tǒng)、原位SEM測量系統(tǒng)、ZEM系列臺式掃描電鏡、JS系列臺階儀、納米位移臺、二維材料轉移臺、探針臺及低溫系統(tǒng)、光柵尺等在內的多個產品線，在國內外均獲得了高度關注白。
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