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臺式掃描電鏡的清洗頻率和部位

閱讀:1305      發(fā)布時間:2023-7-26
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臺式掃描電鏡主要應(yīng)用于對樣品微區(qū)形貌,結(jié)構(gòu)與組成進(jìn)行觀察與分析。 它以分辨率高,景深好和操作簡單而被廣泛應(yīng)用于材料學(xué),物理學(xué),化學(xué),生物學(xué),考古學(xué),地礦學(xué)和微電子工業(yè)。
1、清洗頻率
清洗掃描電鏡的頻率取決于一系列因素及條件,其中包括:使用時間、樣品種類、加速電壓及電子束流等。
每次更換燈絲時,柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗,不必清洗陽極和陽極帽。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過大時,就應(yīng)清洗物鏡光闌柄并用酒精燈燒物鏡光闌或換新光闌。如果上述部位都已被清洗過,還有明顯的污染和象散跡象,則應(yīng)拆下襯管進(jìn)行清洗。-般油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng),每三個月就要清洗- -次。 渦輪分子泵真空系統(tǒng),正常使用,每年清洗-次。
2、清洗部位
需要強(qiáng)調(diào)指出的是物鏡下極靴孔,如想清洗,須由有經(jīng)驗的廠家維修工程師來清洗,若損傷物鏡的表面或邊緣將嚴(yán)重影響掃描電鏡的性能。在發(fā)現(xiàn)掃描電鏡有信號減弱和象散增大的跡象后,就要判斷污染所在的地方。這由掃描電鏡的真空泵類型決定,- 般由“70/20/10”規(guī)則判斷。

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