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超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用
閱讀：721 發(fā)布時間：2024-1-19超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用
超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器，可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。
響應(yīng)速度極快，可以實時監(jiān)測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項?？梢跃_測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。
球聲表面波傳感器的測量原理
① 叉指換能器（IDT）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)，對所涂
敏感膜的微小變化做出反應(yīng) 通過異形電極進行檢測
④ 通過積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換。
介紹示例/應(yīng)用
半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
（主要是前端工藝）蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程工業(yè)氣體制造商
產(chǎn)品陣容
響應(yīng)速度極快，可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化，這對于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體，當(dāng)天然氣等成分出現(xiàn)波動時，可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
FT-700WT
該系列中的頂級型號，實現(xiàn)“超"微量水分測量
測量范圍廣泛的露點，從-110℃到-20℃
除了露點測量之外，還以%水平檢測背景氣體*的成分（相當(dāng)于平均分子量）
*背景氣體：水分含量測量的目標(biāo)氣體該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體。
應(yīng)用實例
工業(yè)氣體制造過程和運輸過程中的質(zhì)量控制、半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制
FT-400WT
中檔型號，可實現(xiàn)中檔實時測量。
1秒內(nèi)測量從-90℃起的露點變化，非常適合測量實時控制系統(tǒng)
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置型*
*請聯(lián)系我們。
應(yīng)用實例
一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測
FT-300WT
小型通用機型，在保持高速響應(yīng)的同時強調(diào)便攜性。
1秒內(nèi)測量從-70℃起的露點變化，同時支持實時測量系統(tǒng)
輕而小，僅重2公斤，方便攜帶至目標(biāo)區(qū)域
由于電池供電，可在沒有市電的地方使用
應(yīng)用實例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體