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      真空手動腔體電學測試探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面可升溫到350℃。

    真空手動腔體電學測試探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，做多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，需自行將引入腔體的信號線連接到測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。

(1)硬件測試電路的設計:該部分主要為芯片的測試提供驅(qū)動電壓和時序激勵,同時完成像元響應電壓信號的采集與處理,同時在數(shù)據(jù)采集部分設計有單端轉(zhuǎn)差分網(wǎng)絡,消除共模噪聲的同時還可以增強模擬電壓信號的驅(qū)動能力。

(2)真空腔體電學測試探針臺探針卡的設計:對于不同陣列的探測器芯片,本文中設計有與之相對應的測試探針卡,同時將偏置電壓的產(chǎn)生電路直接集成于測試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號傳輸過程中受到的干擾。

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