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三點(diǎn)法是通過實(shí)際被測(cè)大理石平臺(tái)表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所組成的平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，以平行于這個(gè)基準(zhǔn)面，并具有最小距離的兩包含平面間的距離作為平面度誤差值。
對(duì)角線檢測(cè)法是以通過實(shí)際被大理石平臺(tái)測(cè)表面上的一條對(duì)角線，并平行于另一條對(duì)角線所作的評(píng)定基準(zhǔn)面，以平行于這個(gè)基準(zhǔn)面且具有最小距離的兩包含平面間的距離作為平面度誤差值。
最小乘二檢測(cè)法是以實(shí)際被測(cè)大理石平臺(tái)表面的最小二乘平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，以平行于最小二乘平面，并具有最小距離的兩包含平面間的距離作為平面度誤差值。最小乘二平面是使實(shí)際被測(cè)表面上各點(diǎn)與該平面的距離的平方和為最小的平面。此方法計(jì)算較為復(fù)雜，一般需要計(jì)算機(jī)處理。
最小區(qū)域檢測(cè)法是以包含實(shí)際被測(cè)表面的最小包含區(qū)域的寬度作為平面度誤差值，是符合平面度誤差定義的評(píng)定方法。