目錄:深圳市科晶智達科技有限公司>>鈣鈦礦太陽能電池制備>> PCE-6--小型等離子清洗機
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環(huán)保,綜合 |
|---|
| 功能特點 |
|---|
通過控制面板的按鍵及開關，可控制調節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間；
時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上；
設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口；
選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗；
--小型等離子清洗機
設備可實現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下：
| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，總功率約600W（含真空泵） |
| 輸出功率 | 7.2W、10.2W、29.6W |
| 射頻頻率 | 3.0MHz，功率3檔可手動調節(jié) |
| 等離子腔體 | 高純石英腔體，?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有?45mm的觀察窗 |
| 真空泵 | 標配直連式雙旋真空泵，流量120L/min，功率約500W |
| 極限真空度 | 50mtorr |
| 通入氣體 | 可通入多種氣體來產生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質選定） |
| 外形尺寸 | 約L400*W300*H300mm（不含真空泵） |
| 重量 | 約10.2kg（不含真空泵） |
8
化工儀器網(wǎng)