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一、簡(jiǎn)要介紹

該真空箱式爐系列用于在1100℃下半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)等工藝，也可用于產(chǎn)品的炭化試驗(yàn)。該爐采用電阻絲加熱，PID程序控溫儀控制，溫控儀可設(shè)定30 段升溫曲線(xiàn)、PID控制參數(shù)自整定、并具有斷偶、超溫報(bào)警保護(hù)等功能。爐體采超輕質(zhì)高鋁纖維材料，具有熱容小、溫度升降控制靈活、節(jié)能等特點(diǎn)，設(shè)備已根據(jù)所需冷態(tài)極限真空≤400Pa集成配備了真空泵及相關(guān)配件。

該設(shè)備為密封式加熱腔體,確保設(shè)備可在真空條件下,或者一些特殊氣氛條件下使用，相比普通箱式爐，使用環(huán)境更靈活，使用范圍更廣泛。

二、技術(shù)參數(shù)