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Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)
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  • Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)

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貨物所在地: 浙江杭州市
更新時間: 2025-01-26 13:16:49
期: 2025年1月26日--2026年1月26日
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產(chǎn)品簡介

Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)是一款超多功能的PVD(物理氣相沉積)系統(tǒng),能夠生成納米顆粒和薄膜,非常適合工業(yè)和學(xué)術(shù)研究。NL-FLEX可以容納各種類型的基底,包括卷對卷、非平面和粉末涂層。它適用于廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括催化、光子學(xué)、能量存儲、傳感器和生命科學(xué)。這種模塊化的PVD沉積系統(tǒng)可以與分析工具集成,為您提供定制化的研究解決方案。

詳細介紹

Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)是一款超多功能的PVD(物理氣相沉積)系統(tǒng),能夠生成納米顆粒和薄膜,非常適合工業(yè)和學(xué)術(shù)研究。NL-FLEX可以容納各種類型的基底,包括卷對卷、非平面和粉末涂層。它適用于廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,包括催化、光子學(xué)、能量存儲、傳感器和生命科學(xué)。這種模塊化的PVD沉積系統(tǒng)可以與分析工具集成,為您提供定制化的研究解決方案。

Nikalyte Nexus_700 x 700.png

主要特點:

·         通過結(jié)合納米顆粒和薄膜生成復(fù)雜材料。

·         使用NL-UHV技術(shù)生產(chǎn)無烴納米顆粒。

·         空間寬敞且易于進入的真空腔,非常適合處理精細和復(fù)雜的基底。

·         可選擇向上或向下配置的源。

·         兼容第三方源。

·         提供旋轉(zhuǎn)、加熱和偏置選項,用于三維物體的涂層。

·         自動化且由配方驅(qū)動的軟件。

·        

基礎(chǔ)系統(tǒng)配置:

·         沉積腔尺寸:450 mm × 450 mm × 450 mm

·         基礎(chǔ)真空度:< 5×10??

·         濺射方向:向下濺射

·         樣品臺:4英寸晶圓,20轉(zhuǎn)/分鐘旋轉(zhuǎn)

·         抽真空系統(tǒng):700/秒渦輪分子泵,配備7.2立方米/小時干式前級泵

·         閥門:手動閥門、快門和線性驅(qū)動裝置

·         控制軟件:配方驅(qū)動的工藝控制、電源控制和數(shù)據(jù)記錄

·         原位監(jiān)測:石英晶體微量天平用于工藝監(jiān)測和終點檢測

·         源端口:最多可連接6個沉積源

·         源類型:納米顆粒源、磁控濺射源、小型電子束蒸發(fā)源、熱舟源、K型離子源、射頻原子源

Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)

Nikalyte NL FLEX物理氣相沉積系統(tǒng)可選配置:

·         可拆卸的沉積屏蔽裝置

·         向上配置的源幾何結(jié)構(gòu)

·         樣品臺選項:

o    直流偏置用于納米顆粒加速

o    射頻偏置用于樣品表面清潔

o    加熱至800℃

·         閥門、快門和線性驅(qū)動裝置的自動化選項

·         渦輪泵前的可調(diào)擋板,用于在較低氣體流量下增加濺射的動態(tài)壓力范圍

·         單獨抽真空的裝卸鎖和傳輸臂




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