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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
詳細(xì)介紹
奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡
通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。
作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量
共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路 | 隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。 |
嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測(cè)量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題]
短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。
使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測(cè)量顯微鏡可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*的觀察方法。
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。
金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。
奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測(cè)量顯微鏡規(guī)格
| 小型手動(dòng)鏡架 | 小型電動(dòng)鏡架 | 中型手動(dòng)鏡架 | 中型電動(dòng)鏡架 | 大型手動(dòng)鏡架 | 大型鏡架 | ||
顯微鏡 |
| 垂直移動(dòng)范圍 | 175 mm | 145 mm | ||||
zui大的測(cè)量高度 | 120 mm（配備測(cè)量物鏡） | 90 mm（配備測(cè)量物鏡） | ||||||
Z軸測(cè)量分辨率 | 0.1 μm | |||||||
Z軸驅(qū)動(dòng)方法 | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： | 手動(dòng)同軸 | 電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)： | ||
照明 | LED照明 | 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 | ||||||
鏡筒 | 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) | |||||||
物鏡 | 測(cè)量顯微鏡用 | MM6-OB系列 | ||||||
金相顯微鏡用 | MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 | |||||||
目鏡 | MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) | |||||||
載物臺(tái) | 測(cè)量范圍 | STM7-CS50: | STM7-CS200: | STM7-CS300: | ||||
測(cè)量***度 | STM7-CS50: (3+L/50) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/200) μm | |||||
***度保證重量 | STM7-CS50: 5 kg | 10 kg | 15 kg | |||||
計(jì)數(shù)器顯示 | 軸數(shù) | 3軸 | ||||||
單位 | 毫米/微米/英寸/密耳 | |||||||
zui小分辨率 | 0.1 μm | |||||||
外形尺寸（寬×長(zhǎng)×高）（mm） | 466 x 583 | 466 x 583 x 811 | 606 x 762 x 651 | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 686 | 804 x 1024 x 844 | ||
重量 | 約84 kg | 約92 kg | 約152 kg | 約159 kg | 約277 kg | 約284 kg | ||
額定功率 | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | 100-120/220- | ||
*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。
物鏡工作距離
倍率 | 1x | 3x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
物鏡 | |||||||||
測(cè)量物鏡 | MM6-OB系列 | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | - | - | - | |
金相物鏡 | MPLFLN系列 | 明場(chǎng) | - | - | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
LMPLFLN系列 | 長(zhǎng)工作距離 | - | - | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
MPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) | - | - | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
LMPLFLN-BD系列 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng) | ||||||||