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詳細介紹
EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻，最大可達300×300平方毫米（12×12英寸）。在手動樣品定位時，該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀產(chǎn)品介紹：
EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻，最大可達300×300平方毫米（12×12英寸）。在手動樣品定位時，該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
產(chǎn)品特點：
· 非接觸式
· 快速、高重復(fù)度測量
· 高分辨率成像
· 最大 300 x 300 mm（12"）的樣品成像測量
· 封裝的導(dǎo)電層的表征
· 軟件集成分析功能，例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析
· 測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能
· 缺陷識別、分析
產(chǎn)品優(yōu)勢:
· 非接觸式成像
· 高速 (5 分鐘測量10,000個檢測點)
· 重復(fù)性和精確性
· 高分辨率 (9 – 90,000個檢測點)
· 封裝后的膜層成像
· 均勻性和缺陷成像
產(chǎn)品參數(shù)
測量技術(shù) | 非接觸式渦流傳感器 | ||||
基材 | 晶圓（錠）、玻璃、箔等 | ||||
最大限度。掃描區(qū)域 | 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米（根據(jù)要求更大） | ||||
邊緣效應(yīng)校正/排除 | 2 – 10 毫米（取決于尺寸、范圍、設(shè)置和要求） | ||||
最大限度。樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 15 毫米（由最厚的樣品定義） | ||||
金屬薄膜（如鋁、銅）的厚度測量 | 2 nm – 2 mm (根據(jù)薄層電阻) | ||||
掃描間距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（其他應(yīng)要求提供） | ||||
每次測量點數(shù)（方形樣品） | 0.5 分鐘 100 個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點 | ||||
掃描時間 | 8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，1 至 10 分鐘（1 – 10 毫米間距） 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，2 至 6 分鐘（2.5 – 25 毫米間距） | ||||
設(shè)備尺寸 (w/h/d) | 31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 | ||||
重量 | 90公斤 | ||||
更多可用功能 | 金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器 | ||||
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
范圍 [歐姆/平方] | 0.0001–0.1 | 0.1–10 | 0.1–100 | 10–2000 | 1,000–200,000 |
精度/偏差 | ± 1% | ± 1–3% | ± 3 – 5% | ||
重復(fù)性 (2σ) | < 0.5% | < 1% | < 0.5% | ||
軟件和設(shè)備操控:
· 人性化的軟件
· 實時測繪測量
· 易于使用的統(tǒng)計分析選項
· 預(yù)定義的測量和產(chǎn)品配方（尺寸、間距、閾值）
· CSV 和 pdf 導(dǎo)出
· 3 用戶級別
· 用于參數(shù)轉(zhuǎn)換的材料數(shù)據(jù)庫
· 邊緣效應(yīng)補償
· 數(shù)據(jù)的存儲和導(dǎo)入
· 數(shù)據(jù)集的導(dǎo)出（例如到 EddyEva、MS Excel、Origin）
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