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當(dāng)前位置：島津企業(yè)管理（中國(guó)）有限公司>>表面分析>>掃描探針顯微鏡>> OLS4100 3D測(cè)量激光顯微鏡
開拓了激光顯微鏡的界限。
－總是值得信賴的影像和測(cè)量－
OLS4100 3D測(cè)量激光顯微鏡的優(yōu)勢(shì)
非接觸式、無損、快速成像和測(cè)量
| ○ 非接觸式、無損測(cè)量 激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x那樣存在損壞樣品的風(fēng)險(xiǎn)。 |  |
| ○ 無需前期準(zhǔn)備即可成像 掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備，如真空脫水和/或切片處理，使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準(zhǔn)備即可對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量。而且，將樣品放置在載物臺(tái)上之后，即可直接開始成像。 |  |
的XY測(cè)量
| ○ 在XY平面精確測(cè)量亞微米級(jí)的距離 干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡，它的平面分辨率不高。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長(zhǎng)的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術(shù)，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進(jìn)行非常精確的XY平面亞微米測(cè)量。LEXT OLS4100達(dá)到了0.12μm的平面分辨率。 |  |
的Z軸測(cè)量
| ○ 在Z方向上精確測(cè)量亞微米級(jí)的高度 | SEM可以拍攝到超高分辨率的影像，但是無法得到高度信息。LSM采用短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光和*的雙共焦光學(xué)系統(tǒng)，會(huì)刪除未聚焦區(qū)域的信號(hào)，只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測(cè)為同一高度。同時(shí)結(jié)合高精度的光柵讀取能力，可以生成高畫質(zhì)的影像，實(shí)現(xiàn)精確的3D測(cè)量。LEXT OLS4100達(dá)到了10nm的高度分辨率。
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