13
主要特點
QVWLI Pro 是一款復(fù)雜的高精度 3D 測量系統(tǒng)，在 QV 上配備了白光干涉儀。
可以根據(jù) WLI 光學(xué)系統(tǒng)采集的 3D 數(shù)據(jù)進行 3D 表面紋理分析/3D 粗糙度分析。
可以根據(jù) 3D 數(shù)據(jù)測量高度處的尺寸和橫截面形狀。
配備頻閃照明，可以執(zhí)行高通量測量，同時縮短載物臺穩(wěn)定時間。
數(shù)字放大功能可進一步放大顯示。
規(guī)格
| 符號 | QVW-H404P1L-E | QVW-H606P1L-E |
|---|---|---|
代碼號 | 363-716-10 | 363-717-10 |
測量范圍(XxYxZ)(mm) | 400×400×240 | 600×650×220 |
WLI圖像常用測量范圍(XxYxZ)(mm) | 315×400×240 | 515×650×220 |
測量精度 (μm)E UX /E UY,MPE | (0.8+2L/1000) | (0.8+2L/1000) |
測量精度 (μm)E UXY,MPE | (1.4+3L/1000) | (1.4+3L/1000) |
測量精度 (μm)E UZ,MPE | (1.5+2L/1000) | (1.5+2L/1000) |
觀察裝置 | 程控動力刀塔1x、2x、6x、（數(shù)字變倍12x）系列 | 程控動力刀塔1x、2x、6x、（數(shù)字變倍12x）系列 |
照明 垂直落射照明 | 白色LED | 白色LED |
照明 透射照明 | 白色LED | 白色LED |
照明環(huán)照明 | 白色LED | 白色LED |
照明WLI頭_垂直落射照明 | 鹵素 | 鹵素 |
溫度修正功能 | 自動溫度補償 | 自動溫度補償 |
使用氣壓(MPa) | 0.4 | 0.4 |
精度保證溫度(℃) | 20±1 | 20±1 |
精度保證 溫度變化(℃/H) | 0.5/1,1/24 | 0.5/1,1/24 |
測量對象最大裝載質(zhì)量（kg） | 二十五 | 35 |
機身質(zhì)量（含安裝支架）（kg） | 1205 | 2275 |
安裝玻璃尺寸（毫米） | 493×551 | 697×758 |
機身外部尺寸（寬x深x高）（毫米） | 1426 x 1118 x 1381（不含突出物/不含專用安裝支架） | 1994 x 1400 x 1572（不含突出物/不含專用安裝支架） |
體重（公斤） | 540 | 1330 |
其他的 | 刻度分辨率：0.1μm測量精度 流（可選）（E1X、E1Y）：（1.5+3L/1000）μm測量精度（流（可選）（E2XY）：（2.0+4L/1000）μm保證精度的光學(xué)放大倍率：2.5倍物鏡（QV-HR2.5x或QV-SL2.5x）+中倍鏡筒透鏡WLI重復(fù)性：2σ≤0.08?精度保證環(huán)境聲壓級：70?以下圖像傳感器：黑白CMOS數(shù)碼相機 | 刻度分辨率：0.1μm測量精度 流（可選）（E1X、E1Y）：（1.5+3L/1000）μm測量精度（流（可選）（E2XY）：（2.0+4L/1000）μm保證精度的光學(xué)放大倍率：2.5倍物鏡（QV-HR2.5x或QV-SL2.5x）+中倍鏡筒透鏡WLI重復(fù)性：2σ≤0.08?精度保證環(huán)境聲壓級：70?以下圖像傳感器：黑白CMOS數(shù)碼相機 |
外形尺寸
