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貨物所在地：福建廈門市
更新時間：2024-06-06 11:46:00
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進(jìn)口X射線熒光光譜儀 2830 ZT 晶圓分析儀 半導(dǎo)體薄膜計(jì)量解決方案
2830 ZT 波長色散 X 射線熒光 (WDXRF) 晶圓分析儀提供了用于測量薄膜厚度和成分的功能。 2830 ZT 晶圓分析儀專門針對半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲行業(yè)而設(shè)計(jì)，該儀器可為多種晶片（厚達(dá) 300 mm）測定層結(jié)構(gòu)、厚度、摻雜度和表面均勻性。
4 kW SST-mAX X 射線管配備了突破性的 ZETA 技術(shù)，可以消除 X 射線管老化效應(yīng)。 這種“全新射線管"性能可以在 X 射線管整個壽命期間得到保持，同時高靈敏度與 ZETA 技術(shù)相結(jié)合，確保了在 X 射線管壽命期間可以一直提供快速的分析和簡短的測量時間。 ZETA 技術(shù)顯著減少了對于漂移校正和重新校準(zhǔn)的需求，從而提高了儀器的生產(chǎn)率和正常運(yùn)行時間。
傳統(tǒng) X 射線管會出現(xiàn)鎢燈絲揮發(fā)，從而導(dǎo)致光管鈹窗內(nèi)部出現(xiàn)沉淀物污染鈹窗。 使用此類 X 射線管的儀器需要定期進(jìn)行漂移校正以補(bǔ)償下降的強(qiáng)度，尤其是對于輕元素而言。
2830 ZT 采用 SST-mAX 射線管解決了這一漂移問題，從而大大提升了正常運(yùn)行時間并能夠隨著時間的推移維持儀器精度。
2830 ZT 配置SuperQ 軟件，該軟件包含了 FP Multi - 一個專門針對多層分析開發(fā)的專用軟件包。 該軟件的用戶界面確保即使是沒有經(jīng)驗(yàn)的操作員也可以對多層進(jìn)行全自動的基本參數(shù)分析。
該儀器的 SuperQ 軟件具有多種易于使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。
FALMO-2G 可輕松集成到任意實(shí)驗(yàn)室或晶片廠中：從簡單的人工托架裝載到全自動。 *靈活的設(shè)計(jì)讓晶片廠經(jīng)理能夠選擇 FOUP、SMIF 或開放式裝入端口，配有一個或兩個裝入端口配置。 各種配置的 FALMO-2G 均受到符合 GEM300 的軟件支持。 FALMO-2G 的占地空間大大降低，而沒有損失靈活性、功能。
該儀器的 SuperQ 軟件具備多種易用使用的模塊，這些模塊能夠方便研究者和工程師進(jìn)行靈活的操作。 可以輕松切換配方和調(diào)整設(shè)備參數(shù)以適應(yīng)用戶偏好。
| 樣品處理 | X 射線管 | 通道 | 安裝 |
|---|---|---|---|
| 直接進(jìn)樣 100 - 300 毫米的晶片；較小的尺寸可以通過特殊適配器處理 | SST-mAX75，超尖銳端窗射線管，SST-mAX50 為選配 | 最多 24 個固定通道 | 符合 SEMI S2/S8 |
| FOUP、SMIF、開放式載盤和手動進(jìn)樣選項(xiàng)可用 | 測量點(diǎn)尺寸 40 和 10 mm；可以測量其他點(diǎn)尺寸 | 最大值(M) 2 個測角儀 | 符合 SECS/GEM |
| 高達(dá)每小時 25 塊晶片的樣品處理能力 | Zeta 技術(shù) | 高性能硼通道，以獲得高靈敏度和處理量 | |
| 適用于 B、C、N、O、F、Mg、Wsix、TiSix、CoSix 的專用高性能通道，具有高靈敏度和高處理量 | |||
| 氬氣/甲烷混合氣體 | |||
| 流氣探測器 | |||
| 封閉式計(jì)數(shù)器 | |||
| 掃描儀 10 o-100 o 2θ | |||
| 帶有 300 µm 鈹窗的閃爍式探測器 |
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