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半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的技術(shù)指標(biāo)

時(shí)間：2017/9/11閱讀：2145

半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電阻率。半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。

半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀的技術(shù)指標(biāo):

電源：220V交流

可測(cè)晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm

恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。

數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV

電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點(diǎn)、極性、過(guò)載、自動(dòng)顯示0.01-199.99歐姆。厘米

輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω

測(cè)量精度：±0.1。

zui大電阻測(cè)量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。

重?fù)綑z測(cè)誤差（JJG508-87進(jìn)行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%

測(cè)量環(huán)境：溫度23±2℃，相對(duì)濕度≤65%



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