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上海添時科學儀器有限公司

CVD氣相沉積的材料特性和功能特點介紹

時間:2022-4-26 閱讀:1595
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   CVD氣相沉積采用雙層殼體結構和40段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,管式爐雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用99剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封,用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。適用于銅鎢合金、鋁鎳鈷永磁、釹鐵硼、碳纖維石墨化,碳碳復合材料,碳化硅制品,鎢鉬及其他合金材料的真空或氣氛高溫燒結,也可作為其他金屬材料的熱處理及氣相沉積。
 
  CVD氣相沉積爐管為定制下細上粗不銹鋼管,爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上,氣體從下而上穿過粉末顆粒,當氣流速度達到或超過顆粒的臨界流速時料層中顆粒呈上下翻騰,在一定溫度和氣氛下,充分反應沉積。
 
  CVD氣相沉積的功能特點:
  1、采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內的非易燃易爆材料,
 
  2、升溫速率快,智能控溫,可分段設置,控溫穩(wěn)定度好,熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū),且加熱區(qū)長度可調。
 
  3、可通各種氣氛,抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵,可達真空狀態(tài)。
 
  4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結構);
 
  5、保護管采用合金管,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
 
  6、爐體配有自動冷卻風扇,降低溫度;
 
  7、真空系統(tǒng):機械泵擴散泵和分子泵,真空密度計
 
  8、可通過電腦全程監(jiān)控和調試。

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