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數(shù)字式四探針測試儀/四探針電阻率測定儀
型號：SHY-JSZT2000

貨號：ZH9058

產(chǎn)品簡介:
數(shù)字式四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴(kuò)散層的薄層電阻進(jìn)行測量，可以從10^-6--10⁵Ω—cm量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料監(jiān)測的需儀器。
儀器為臺式結(jié)構(gòu)，分為電氣箱、測試架兩大部分，用戶可以根據(jù)測試需要安放在一般工作臺或者工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動、樣品架組成，耐磨和使用壽命長的特點(diǎn)。探頭內(nèi)設(shè)有彈簧壓力裝置，壓力從0—2Kg連續(xù)可調(diào)，測試架設(shè)有手動和電動兩種裝置供用戶選購。
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的恒流源組成，測量結(jié)果由數(shù)字直接顯示，儀器有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進(jìn)行校驗(yàn)。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)，儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、器件廠、、高等院校，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試及檢測。
指標(biāo)：
范圍：電阻率10^-4—10³Ω—cm，可擴(kuò)展至10⁵Ω—cm，分辯率為10^-6Ω—cm方塊電阻10^-3—10³Ω /□ 電阻10^-6—10⁵Ω
半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm
測量方式：軸向、斷面（手動測試架）
數(shù)字電壓表
（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
（2）測量誤差 0.2mV檔±（0.3%讀數(shù)+8字）
            2mV檔以上±（0.3%讀數(shù)+2字）
（3）輸入阻抗0.2mV、2mV擋10⁵Ω
            20mV檔以上>10⁸Ω
（4）顯示3 1/2位數(shù)字顯示，0—1999
具有性和過載自動顯示，小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示
恒流源：
（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給
（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
（3）電流誤差：±（0.3%讀數(shù)+2字）
四探針測試探頭（1）探頭間距：1mm （2）探針機(jī)械游率：±0.3% （3）探針：Φ0.5mm（4）壓力：可調(diào)
測試架：
（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。
（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操作，設(shè)有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S可調(diào)，探頭下降時間1S—99S可調(diào)，壓力恒定可調(diào)（由砝碼來設(shè)定）同時設(shè)有腳踏控制裝置由腳踏開關(guān)控制探頭上下運(yùn)動。
電    流：220V±10% 50HZ或60HZ
功率消耗：<35W
外形尺寸：電氣箱130×110×400mm