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掃描電子顯微鏡(SEM)的工作原理
閱讀：649 發(fā)布時(shí)間：2024-11-8
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種高分辨率的分析工具，能夠?qū)悠繁砻孢M(jìn)行詳細(xì)觀察和成分分析。與光學(xué)顯微鏡相比，SEM可以提供更高的放大倍率和更清晰的圖像，因此廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域。
ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡掃描速度快，信號(hào)采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時(shí)的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，不需對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動(dòng)，可出差攜帶，安裝無(wú)需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。
工作原理：
1.電子束發(fā)射：SEM使用電子槍(通常是熱發(fā)射或場(chǎng)發(fā)射電子槍)產(chǎn)生細(xì)束電子，這些電子會(huì)被加速并聚焦到樣品表面。
2.激發(fā)信號(hào)：當(dāng)電子束撞擊樣品時(shí)，將導(dǎo)致樣品表面的原子釋放出不同類型的信號(hào)，包括二次電子、反向散射電子和特征X射線。
二次電子：來(lái)自樣品表面的低能量電子，主要用于獲取表面形貌信息。
反向散射電子：返回的高能量電子，提供關(guān)于樣品組成的信息。
X射線：由樣品原子在受到轟擊后發(fā)出的特征X射線，用于元素分析。
3.信號(hào)檢測(cè)：收集這些信號(hào)通過(guò)探測(cè)器進(jìn)行處理，并將其轉(zhuǎn)換為圖像或其他數(shù)據(jù)。
掃描電子顯微鏡是一項(xiàng)強(qiáng)大的科研工具，能夠揭示樣品的微觀世界。正確的操作與維護(hù)能夠確保獲得高質(zhì)量的數(shù)據(jù)，促進(jìn)各個(gè)領(lǐng)域的研究和開(kāi)發(fā)。