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ALD 原子層沉積原理通過在工藝循環(huán)周期內分步向真空腔內添加前驅體、實現(xiàn)對膜層厚度的精確控制。區(qū)別于普通CVD或PECVD原理，ALD可沉積超薄的、無針孔和顆粒的膜層，例如在3D結構上沉積幾個納米厚的薄膜，同時具有出色的均勻性和優(yōu)秀的保形比。
■ 轉接腔預留兩個端口，可升級增加ICP刻蝕反應腔模塊與ICPECVD沉積反應腔模塊，原控制軟件無需升級即可控制ICP、ICPECVD模塊
■ 熱原子層沉積T-ALD模塊：配制臭氧管路：配置獨立的臭氧管路，包括臭氧發(fā)生器、質量流量控制器
MFC、壓力傳感器等。臭氧發(fā)生量：≥ 6 g/h
■ 等離子增強原子層沉積PEALD模塊：配制臭氧管路：配置獨立的臭氧管路，包括臭氧發(fā)生器、質量流量控制器MFC、壓力傳感器、氣體探測器、閥門、控制機箱等。臭氧發(fā)生量：≥ 6 g/h
SENTECH ALD系統(tǒng)特別適用于納米科技、微系統(tǒng)應用、無機和有機半導體工程、以及器件鈍化。
ALD 原子層沉積 工藝：
使用三甲基鋁 TMA和水沉積氧化鋁
TMA 化學吸附
吹掃循環(huán)
水化學吸附
吹掃循環(huán)
應用
n 電子器件的鈍化層
n 有機材料的擴散阻擋層
n 晶體硅電池的鈍化
n 黏附層
n 3D結構的高保形比鍍膜
n 高k材料
n 光學鍍膜
n 擴散層
n 防腐蝕層
n 納米科技的功能層
n 生物醫(yī)學應用
SENTECH的原子層沉積腔室系統(tǒng)具有靈活的系統(tǒng)結構、適用于多種沉積模式和不同工藝。系統(tǒng)可升級更多的前驅體源和氣路、高真空泵、原位監(jiān)測和其他選項?？稍谧畲笾睆?/span>200 mm的樣片上沉積氧化物（例如Al2O3，SiO2，HfO2, ZnO，ZrO2）、氮化物（例如AlN，Si3N4)、金屬等材料。除了標準熱ALD工藝，系統(tǒng)可擴展等離子體 源、實現(xiàn)低溫工藝。等離子增強原子層沉積系統(tǒng)（PEALD）在沉積工藝中使用氣體氧代替水作為氧化劑。一個電容耦合等離子體CCP源作為真正的遠程源、附在反應腔上部法蘭，沒有光線直接照射在樣片上。
PEALD沉積Al2O3膜：使用三甲基鋁TMA和等 離子生成氧原子（O），襯底溫度200°C，4 吋晶圓
厚度均勻性：33.3 nm ± 0.25 nm
折射率差異（632.8 nm）：1.627 ± 0.0025
SENTECH等離子工藝操作軟件
反應腔帶下電極（紅）、前驅體柜（黃）、 氣路（綠）、真空泵系統(tǒng)（青）、單片預真空室（藍）和CCP等離子體源（紫）
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