brooks真空機(jī)械手臂MAG 7 F應(yīng)用于真空集束型機(jī)臺(tái)的晶圓輸送機(jī)械手臂。MagnaTran® 7 Frogleg™ （MAG 7 F） 機(jī)械手臂集成了 MagnaTran 產(chǎn)品系列的所有技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，實(shí)際平均故障周期 （MCBF） 大于 1100 萬(wàn)次。

brooks真空機(jī)械手臂MAG 7 F設(shè)計(jì)使用了少的移動(dòng)部件。其直接電磁離合器驅(qū)動(dòng)不具有動(dòng)態(tài)真空密封，這樣便減少了摩擦和磨損，從而減少故障。通過(guò)消除步進(jìn)電機(jī)，可以在未接觸邊緣的情況下減小振動(dòng)，減少顆粒，并實(shí)現(xiàn)較高的重復(fù)定位精度。 經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的一體式電子裝置不僅占據(jù)了更小的空間，還降低了對(duì)電子干擾的敏感性，從而產(chǎn)生更高的可靠性。 

brooks真空機(jī)械手臂MAG 7 F主要特性：
1.能夠承載的晶圓尺寸從300mm的標(biāo)準(zhǔn)件到非標(biāo)準(zhǔn)的襯底
2.具有權(quán)的 Frogleg™ 手臂 
3.經(jīng)過(guò)驗(yàn)證 MCBF 超過(guò) 1100 萬(wàn)次的可靠性
4.具有權(quán)的時(shí)間you軌跡™
5.Workspace 用戶可編程的機(jī)械手臂訪問(wèn)區(qū)
6.晶圓根據(jù)外部感應(yīng)自動(dòng)居中
7.CE 和 SEMI S2 認(rèn)證
特色：
1.與xian進(jìn)的集束型工具兼容
2.具有高通量
3.占用空間小
4.VHV 兼容性
5.較低的擁有成本
6.快的運(yùn)行速度
7.適用性
8.晶圓和設(shè)備安全
9.促進(jìn)已增加產(chǎn)能的升級(jí)
高通量可以通過(guò) Time Optimal Trajectory™ 算法來(lái)實(shí)現(xiàn)，該算法可使輸送速度比 S 曲線剖面快 15-30％。持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)性能排除了運(yùn)動(dòng) 180 度以上和直驅(qū)式伺服的需要，通過(guò) Brooks 的專有 DSP 控制器可以大限度地減小振動(dòng)。
Workspace 用戶可編程訪問(wèn)區(qū)可防止手動(dòng)操作期間可能發(fā)生的碰撞，從而確保高價(jià)值晶圓和加工設(shè)備的安全。通過(guò)調(diào)制解調(diào)器連接的遠(yuǎn)程服務(wù)終端上的圖形界面可以完成全面診斷。先前事件的錯(cuò)誤日志帶有時(shí)間和日期戳。循環(huán)計(jì)數(shù)器位于非易失性存儲(chǔ)器中，并以圖形方式對(duì)關(guān)鍵的性能特征進(jìn)行監(jiān)控。多傳感器接口連接通過(guò)允許接口直接連接到基板傳感器和其他外設(shè)模塊（如閥門(mén)）的高速數(shù)字 PIO 完成。實(shí)時(shí)信息允許通過(guò)運(yùn)動(dòng)組件的邊緣檢測(cè)來(lái)進(jìn)行位置引用。為了安全起見(jiàn)，可能在宏序列中引用晶圓。