化工儀器網(wǎng)
資料下載
newport線性電機(jī)平移臺用戶手冊
閱讀：1268 發(fā)布時(shí)間：2018-5-17| 提 供 商 | 東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司 | 資料大小 | 1.7MB |
|---|---|---|---|
| 資料圖片 | 查看 | 下載次數(shù) | 164次 |
| 資料類型 | PDF 文件 | 瀏覽次數(shù) | 1268次 |
| 免費(fèi)下載 | 點(diǎn)擊下載 |
newport IMS-LM 線性電機(jī)平移臺具有zui長的行程長度和線性電機(jī)，在提升速度和平順性的同時(shí)，保留了堅(jiān)硬的鋁制機(jī)身和堅(jiān)固耐用的組件，可在高占空比應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)亞微米分辨率。
特點(diǎn):
1.非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高動態(tài)響應(yīng)和高可靠性
2.鐵芯線性電機(jī)，可實(shí)現(xiàn)快速和可重復(fù)定位
3.高分辨率線性編碼器，可用于亞微米級重復(fù)性和 20 nm MIM
4.為剛性 XY 組件而設(shè)計(jì)的剛性主體，行程可達(dá) 600 x 600 mm
5.帶籠式滾珠的循環(huán)軸承能夠確保靜音運(yùn)動
6.即插即用的 ESP 控制器兼容性
M-IMS1000LM-S線性平臺適用于1000毫米行程的自支撐應(yīng)用。該舞臺具有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和低成本的高性能，使其成為精密工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的高性價(jià)比解決方案。IMS采用FEM優(yōu)化的擠壓鋁制主體，以避免彎曲效應(yīng)或負(fù)載下的撓曲。線性電機(jī)采用中心率的三相同步鐵芯，直線電機(jī)作為驅(qū)動元件，提供高速，高加速度和高系統(tǒng)響應(yīng)能力。IMS系列平臺非常適用于許多精密工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體晶圓檢測，微電子測試和裝配，DNA測序或激光加工。
行程范圍：1000毫米
zui大速度：1000毫米/秒
zui小位移增量：0.020微米
電機(jī)持續(xù)驅(qū)動力：100 N
峰值驅(qū)動力：210 N
中心負(fù)載：600 N
精度典型值： ±4.0μm
精度保證值： ±9.0μm
雙向重復(fù)精度典型值： ±0.12μm
雙向重復(fù)精度保證值： ±0.50μm
俯仰典型值：±112μrad
俯仰保證值：±225微弧度
俯仰順應(yīng)性：0.2μrad/ N·m
偏擺典型值：±40μrad
偏擺保證值：±150μrad
偏擺順應(yīng)性：1μrad/ N·m
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性：1μrad/ N·m
編碼器分辨率：1 Vpp 20μm間距
限位開關(guān)：光纖
原點(diǎn)：光學(xué)居中
原點(diǎn)重復(fù)精度：±0.05μm
螺紋類型：M6
重量：28公斤
MTBF：20,000小時(shí)（25％負(fù)載，30％占空比）
RoHS指令：合規(guī)