SRS RGA300 是一款 300amu 的殘余氣體分析儀,具有性能和較高的性價比,以下是其產(chǎn)品概述:
系統(tǒng)組成:由四極桿探頭、電子控制單元(ECU)和實時 Windows 軟件包構(gòu)成。其中,探頭包括離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測器,設(shè)計簡潔,零件少,可減少放氣和雜質(zhì)引入;ECU 集成度高,包含控制所需的所有電子設(shè)備,可由外部電源或內(nèi)置電源模塊供電,且?guī)в?LED 指示燈顯示狀態(tài),還能與探頭分離進行高溫烘烤。
性能特點:質(zhì)量分辨率優(yōu)于 0.5amu @ 10% 峰高(根據(jù) AVS 標(biāo)準(zhǔn) 2.3),在整個質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬;具有 6 個量級的動態(tài)范圍,溫度補償對數(shù)靜電計可在單次掃描中檢測 10-7 至 10-15 安培的離子電流,精度優(yōu)于 2%;標(biāo)準(zhǔn)配置法拉第杯探測器,可測量 10-5 到 5×10-11Torr 的分壓,可選電子倍增器,能檢測低至 5×10-14Torr 的分壓。
功能特性:具備內(nèi)置脫氣功能,通過電子沖擊解吸清潔離子源,降低背景噪聲;固件驅(qū)動的燈絲保護功能以 675Hz 持續(xù)監(jiān)控過壓,保護燈絲壽命;通過 RS-232 接口與計算機通信,可控制和監(jiān)控模擬、直方圖掃描、泄漏檢測及探頭參數(shù)等,便于集成到現(xiàn)有程序。