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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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技術指標如下：
參考指標 | PTP-300 | PTP-200 |
溫度范圍： | 高至650 | 高至650 |
升溫速率： | 10 | 75 |
降溫速率： | max50 | max200 |
max5 | max30 | |
微波發(fā)生器： | 2.45GHz,600W 用于去層或清潔 | |
加熱區(qū)域： | 300mmx300mm | 170mmx200mm |
控制部分： | 帶LCD顯示的SPS（獨立電源）控制器PP220(B&R) | |
真空： | 可達 10E-5 mbar | |
腔材料： | 石英玻璃 | |
腔高度： | 50mm | 40mm |
樣品尺寸： | 用于熱工藝可達8英寸 | 達到6英寸 |
用于等離子工藝可達12英寸 | ||
功率： | 18KW，12根IR燈 | 18KW，18根IR燈 |
氣路： | 2 | |
界面接口： | RS-232 | |
冷卻： | 水冷 | |
