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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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POLOS SPIN300x
我們?nèi)赂倪M(jìn)設(shè)計(jì)的POLOS® SPIN300x勻膠機(jī)型號現(xiàn)已開放訂購。該型號提供精準(zhǔn)且可重復(fù)的工藝控制，主體材質(zhì)采用天然聚丙烯（NPP），或可選耐化學(xué)腐蝕的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。
德國進(jìn)口 POLOS勻膠機(jī) SPS旋涂儀SPIN基于市場驗(yàn)證的經(jīng)典型號升級開發(fā)，提供標(biāo)準(zhǔn)版與進(jìn)階版兩種配置，可兼容處理：
①直徑最大300 mm的圓形基板
②200×200 mm的方形樣品
專為半導(dǎo)體、光伏、MEMS及納米材料領(lǐng)域設(shè)計(jì)，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴(yán)苛工藝要求。
品牌 | Polo |
型號 | SPIN300x |
樣品尺寸 | 晶圓：最大直徑 12" (300 mm) 方片：最大8"x8"（200mm） |
最高轉(zhuǎn)速 | 12000rpm |
加速度 | 1~30000rpm |
旋轉(zhuǎn)方向 | 可正反轉(zhuǎn) |
一．創(chuàng)新設(shè)計(jì)亮點(diǎn)
優(yōu)秀的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
特殊外殼與排水系統(tǒng)設(shè)計(jì)，支持桌面式與嵌入式安裝模式自由切換。模塊化結(jié)構(gòu)允許用戶通過多樣化配件升級設(shè)備，優(yōu)化點(diǎn)膠操作與整體流程便捷性。
二．電機(jī)歸位位置自定義
全新SPINx系列支持設(shè)定電機(jī)歸位位置，便于無縫集成至機(jī)器人控制/自動化產(chǎn)線環(huán)境。
三．便捷腔體訪問
真空吸盤高于勻膠碗邊緣，確保機(jī)械手末端執(zhí)行器、鑷子或真空吸筆可直接觸達(dá)晶圓/基板，滿足機(jī)器人操作的特殊需求。
四．自動開蓋系統(tǒng)
可通過用戶界面或腳踏開關(guān)（適配手套箱環(huán)境操作）實(shí)現(xiàn)蓋體自動開閉
支持在工藝配方結(jié)束時自動觸發(fā)開蓋動作
五．液體過濾保護(hù)裝置
德國進(jìn)口 POLOS勻膠機(jī) SPS旋涂儀SPIN系列配備液體過濾器，有效保護(hù)勻膠機(jī)核心組件（驅(qū)動單元、真空閥、真空傳感器及伺服控制器）。該裝置可攔截通過工藝腔或真空吸盤進(jìn)入管路的液體，所有光刻膠或流體將被安全收集至透明觀察瓶內(nèi)（通過設(shè)備外殼視窗可實(shí)時監(jiān)測）。維護(hù)建議：定期檢查收集瓶并按需清理殘留液體。
六．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝
SPIN200x硬件規(guī)格
類別 | 參數(shù)細(xì)節(jié) |
工藝腔材質(zhì) | 天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE，僅限Advanced版可選） |
最大基板尺寸 | 12英寸（300毫米）晶圓 或 8×8英寸（200毫米）方形基板 |
核心功能 | 液體過濾裝置、自動開蓋系統(tǒng)（進(jìn)階版含腳踏控制）、可編程電機(jī)歸位位置 |
點(diǎn)膠系統(tǒng) | 中央注射器/點(diǎn)膠嘴適配接口 |
安全設(shè)計(jì) | 蓋體鎖定裝置、真空傳感器 |
人機(jī)交互 | 大尺寸可拆卸觸摸屏、USB接口（配方存儲與軟件升級） |
驅(qū)動單元技術(shù)參數(shù)
1.驅(qū)動類型：間接無刷電機(jī)，最高轉(zhuǎn)速12,000 RPM
2.控制精度：高加速性能，轉(zhuǎn)速范圍1 - 30,000 RPM（需確認(rèn)實(shí)際可達(dá)性）
3.旋轉(zhuǎn)模式：順時針/逆時針旋轉(zhuǎn)及靜態(tài)浸潤（Puddle Mode）
4.安裝兼容性：支持桌面式與嵌入式模式切換
版本區(qū)別
