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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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德國(guó)osiris熱板：HOTPLATES
設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用：
SOFTBAKE（預(yù)烘烤）、HARDBAKE、
HMD（六甲基二硅氮烷）可選：蒸汽灌注、真空干燥
特點(diǎn)：
1.單面烘烤模塊
2.不同的基材系統(tǒng)：最大 200/300 或 450mm
3.電子或氣動(dòng)頂銷
4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷
5.控制器單元：半自動(dòng)或手動(dòng)
6.真空通道用于基板固定
7.集成式排煙
8.可選的：
- 氮?dú)獯祾撸∟2） - 提升銷用于邊緣處理
9.專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)
1.UNIXX HvT20
（直徑200mm）用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺(tái)式加熱板工具。
（可臺(tái)式或獨(dú)立式）
2. UNIXX HeT20
（直徑200mm）帶電子驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。
（或安裝在臺(tái)上
3.UNIXX HpT20
（直徑200mm）帶有氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。
（或臺(tái)式）
