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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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聯(lián)系電話
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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Pico 等離子設(shè)備可以組合成不同的派生型，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。Pico 系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
分析 (REM, TEM)，考古，汽車，研究和開發(fā)部門，半導(dǎo)體技術(shù)，小批量生產(chǎn)，塑料技術(shù)，醫(yī)療技術(shù)，微系統(tǒng)技術(shù)，傳感技術(shù)，滅菌，紡織技術(shù)
1.基本裝備：
根據(jù)組件/選裝件，外殼規(guī)格會有所不同
腔室容積：根據(jù)具體版本 4 - 15 升
供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位
2.氣體供給：針型閥，質(zhì)量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室：
圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 150 mm，長 320 mm 或長 600 mm）或
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 160 mm x 160 mm，長 325 mm 或長 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約直徑130 mm，長 300mm或600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約直徑130 mm，長 300 mm或600 mm）
4.裝載件
產(chǎn)品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
5.電極：單層或多層，RIE
6.控制系統(tǒng)
半自動型
Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系統(tǒng) (Windows 10 IoT)
7.壓力測量：Pirani，電容式壓力計（適用于腐蝕性氣體版本）
8.計時器：數(shù)字
9.發(fā)生器
頻率：
40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W
100 kHz：功率 500 W
80 kHz：功率 1000 W
13.56 MHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
2.45 GHz：功率 0 - 300 W
所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型
10.真空泵
不同規(guī)格，來自不同制造商（根據(jù)需要配備活性炭過濾器）
11.其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項
