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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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概括
置于工具板下方（或可選地，也位于上方）的紅外燈將其加熱。尺寸為260x210mm的矩形工具板可以用任何合適的材料制成，也可以在其中使用用于固定裝置的定制開口。通過設(shè)計，可將模具板及其上的零件一起裝入腔室內(nèi)-適用于批量生產(chǎn)。
通過從腔室底部吹向工具板的氮氣流進(jìn)行工藝?yán)鋮s。腔室本身是水冷的。如果未與安裝機(jī)架MR23CP一起訂購，則需要外部冷水機(jī)。
技術(shù)指標(biāo)
工藝環(huán)境： | 氮氣，惰性氣體，甲酸，合成氣 |
Z高溫度： | 650℃ |
加熱面積： | 260 x 210mm |
加熱板： | 可移動：石墨，鋁等 |
加熱板上方的間隙： | 單次50mm /雙重加熱60mm |
加熱/冷卻斜坡： | 250℃/分鐘 |
控制偏差： | +/- 0.5℃ |
加熱元件： | 一排或兩排8x / 16x紅外加熱燈 |
加熱控制： | 每個加熱燈均可獨立調(diào)節(jié) |
加熱板冷卻： | 氮氣流量 |
溫度測量： | 多達(dá)4個熱電偶K型可自由定位 |
壓力測量： | 集成壓力變送器 |
Z大真空度： | 5x10-2mbar |
甲酸起泡器： | 40毫升容器，集成在前面板中 |
箱體冷卻： | 水/乙二醇混合物 |
蓋觀察口： | 80mm/不適用于雙加熱 |
顯示： | 7英寸液晶觸摸屏 |
電腦軟件： | 工藝記錄，配方傳輸?shù)?/span> |
用戶界面： | 繼電器I/O的遠(yuǎn)程控制 |
外型尺寸： | 見布局 |
重量: | 125公斤（包括所有選項） |
電源供應(yīng): | 三相，特定國家 |
