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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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紅外光譜橢偏儀IRSE
型號：TFProbe IRSE
橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學(xué)技術(shù)，用于表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入式層。實現(xiàn)這種技術(shù)的波長范圍取決于應(yīng)用。紅外（IR）波長范圍備受關(guān)注，因為材料表現(xiàn)出的結(jié)果與在紫外線（UV）和可見光波長范圍內(nèi)觀察到的結(jié)果有很大不同。例如，大多數(shù)非摻雜半導(dǎo)體都是透明的；電介質(zhì)特征吸收鍵；金屬或摻雜的半導(dǎo)體表現(xiàn)出Drude吸收尾等。因此，紅外光譜橢圓儀（IRSE）可以表征材料的結(jié)構(gòu)（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光學(xué)（光學(xué)常數(shù)），電（導(dǎo)電性）以及化學(xué)信息。
應(yīng)用案例：
1）零裝材料：玻璃，PET，摻雜硅
2）硅外延層：
•摻雜輪廓
•薄外延層（<1 um）
•低對比度N / N外延層
3）半導(dǎo)體外延層（GaAs，Insb，SiC，SiGe，CdHgTe等）
4）介電膜表征
5）應(yīng)用于FPD的硅層
6）監(jiān)測a-Si：H工藝質(zhì)量（CVD，ELA工藝）
7）SiN層中Si-H和N：H的相對含量
8）ITO膜：光學(xué)和電學(xué)表征
9）BPSG，PSG：硼和磷的濃度
10）低k材料：
•有機低k材料：
確定厚度和光學(xué)常數(shù)；
計算碳含量（％C）；
確定退火前后的水含量；
•SiOC：H：碳含量和孔隙率
•多孔SiO 2：厚度，孔隙率，水含量
11）溝槽，過孔，凹槽和淺溝槽隔離（STI）
12）SOI光波導(dǎo)：厚度測量
特征：
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系統(tǒng)配置：
•光源：使用壽命長的Polaris™紅外光源
•光譜儀：
邁克爾遜干涉儀雙端口輸出
Ge on KBr分光鏡
高精度HeNe參考激光器
可變光圈光圈
BaF2涂層KBr窗口
•可變?nèi)肷浣牵?/span>5度間隔20 – 90度
•角度更改模式：手動，帶預(yù)設(shè)插槽
•偏光光學(xué)元件：電動?xùn)鸥窦t外偏光片
•檢測器：帶有KBr窗口的TE冷卻DLaTGS檢測器
•載物臺：高精度Z載物臺，可傾斜
•樣品盤：直徑200mm，水平放置
•通訊：USB 2.0
•電腦：Intel i5處理器，8GB內(nèi)存和500GB帶有鍵盤和鼠標(biāo)的硬盤
•顯示器：22英寸液晶顯示器
•軟件：TFProbe 3.3
