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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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電動(dòng)XY夾頭，SPS-2600中的電動(dòng)壓板，SPS 2800中卡盤的電動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。
基于伺服電機(jī)的直線光柵尺。
成本競爭力，非?？焖?，高效的解決方案
強(qiáng)烈推薦用于中等規(guī)模生產(chǎn)或其他吞吐量很重要的應(yīng)用
型號 | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圓尺寸 | 高達(dá)300mm | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm |
電機(jī)類型 | 伺服電機(jī) | ||
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達(dá)200??mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統(tǒng)尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
