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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話(huà)
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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1、 勻膠機(jī)工作原理： 勻膠機(jī)（spin coater）的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 2、勻膠機(jī)型號(hào)及技術(shù)參數(shù)如下：
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三、勻膠機(jī)的特點(diǎn)：
1、該勻膠機(jī)采用德國(guó)*技術(shù)：
2、勻膠機(jī)采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構(gòu)造設(shè)計(jì)，這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀(guān)大方；
3、勻膠機(jī)真空Chuck經(jīng)精密加工制成，具有良好的光潔度及平整度，保證晶圓片被很好地吸附，主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐，軸向有彈性墊及調(diào)整墊，可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低，保證涂覆表面均勻，保證通過(guò)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機(jī)腔體配備吹氮(N2)功能，或壓縮空氣、氮?dú)鈮毫赏ㄟ^(guò)調(diào)壓閥和節(jié)流閥實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)，與配套真空泵一同使用。
