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進(jìn)口小型旋涂機(jī)SPIN150i是150mm單片旋涂機(jī),專(zhuān)為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
進(jìn)口小型旋涂機(jī)SPIN150i適用于處理小至5mm、高達(dá)150?（或6"）或4“x 4"基板的晶圓。可拆卸觸摸面板。配方的無(wú)限程序存儲(chǔ)，每個(gè)步驟都有多個(gè)（CW & CCW rotation用于浸置式顯影旋涂應(yīng)用的順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)）。
進(jìn)口小型旋涂機(jī)特點(diǎn)
工藝種類(lèi)齊全，包括旋涂和浸置式顯影
結(jié)構(gòu)緊湊，方便實(shí)驗(yàn)室防置
大屏幕彩色觸摸屏
專(zhuān)為各種光刻化學(xué)光刻膠設(shè)計(jì)
進(jìn)口小型旋涂機(jī)SPIN150i規(guī)格參數(shù)
程序數(shù)：無(wú)限制
程序的步進(jìn)數(shù)：無(wú)限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，puddle浸置式
最大加速度：30000rpm/s
旋涂時(shí)間：無(wú)限制
外殼材質(zhì)：NPP
旋涂室材質(zhì)：NPP
外部鏈接：1個(gè)USB接口連接控制器
最大襯底直徑：160mm 或4''x4'’方形
最大旋涂室直徑：202mm
尺寸:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm
重量：14kg
供電要求：200-240VAC
最大功耗：500W
真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm