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製品資料
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説明
HG-VCR方式を採(cǎi)用した高精度、高剛性の自動(dòng)ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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仕様
移動(dòng)方向移動(dòng)量ステージ面使用モータ分解能送りねじリード移動(dòng)ガイド移動(dòng)精度HV移動(dòng)精度YP位置決め精度繰り返し精度ロストモーションモーメント剛性耐荷重質(zhì)量zui高速度主要材質(zhì)/表面処理原點(diǎn)センサリミットセンサ適合ケーブルスケール型式スケール分解能スケール精度
| Z軸1方向 |
| ±12.5mm |
| 60mm×60mm |
| PK523HPB相當(dāng)（5線式ペンタゴン結(jié)線、0.75A/相） |
| 0.002mm |
| 1mm |
| HG-VCR（V溝とクロスローラ） |
| 真直度（水平?9?9垂直）0.002mm |
| ヨーイング15sec、ピッチング25sec |
| 0.01mm |
| ±0.0003mm |
| 0.001mm |
| ヨー剛性 0.1sec/N?9?9cm、ピッチ剛性 0.1sec/N?9?9cm、ロール剛性 0.1sec/N?9?9cm |
| 19.6N（2kgf） |
| 0.73kg |
| 10mm/s（5,000pps時(shí)） |
| アルミ合金／黒アルマイト梨地 |
| ノーマルクローズ接點(diǎn)（ブレーク接點(diǎn)、Ｂ接點(diǎn)）動(dòng)作、フォトセンサ |
| ノーマルクローズ接點(diǎn)（ブレーク接點(diǎn)、Ｂ接點(diǎn)）動(dòng)作、フォトセンサ |
| ACB-STM2、ACB-STM3 |
| GSI製マーキュリー（テープスケール、ケーブル3m） |
| 5μm～0.05μm |
| ±60nm/0.02mm |
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接続方法―接続ケーブルとコントローラ?9?9ドライバ―
センサ動(dòng)作原理とタイミングチャート