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傅里葉分束鏡FTIR分束器/補(bǔ)償器對
應(yīng)用和操作原理
傅里葉分束鏡FTIR分束器/補(bǔ)償器對用于傅里葉變換紅外（FTIR）光譜儀中的邁克爾遜干涉儀方案。FTIR光譜儀通?；谶~克爾遜干涉儀，其中一個(gè)鏡子是可移動(dòng)的。兩個(gè)反射鏡位于干涉儀的兩個(gè)臂上并且彼此垂直定向。分束器放置在直角的頂點(diǎn)，并相對于每個(gè)鏡子以45°角定向。傳遞到分束器的光被分成兩部分（理想地為50％/ 50％），它們進(jìn)一步傳播到兩臂并從鏡子反射。從分束器反射一次的光束（圖中的上光束）也必須通過那里并通過傾斜的補(bǔ)償板返回，以補(bǔ)償另一個(gè)光束實(shí)際通過分束板三次而不是一次。在一定距離上掃描可移動(dòng)鏡，產(chǎn)生到達(dá)檢測器的兩個(gè)光束的干涉圖案。
材料和光譜范圍
通過選擇適當(dāng)?shù)姆质骱脱a(bǔ)償器材料，可以覆蓋從可見光到遠(yuǎn)紅外線的波長范圍。
材料選擇包括以下材料：熔融石英（石英）（可見/近紅外），CaF2，BaF2和ZnSe（近紅外/中紅外）。
高電阻率FZ-Silicon也可用于遠(yuǎn)紅外區(qū)域的分光鏡。由于菲涅耳反射，它可以在非常寬的波長范圍內(nèi)用于~50％/ 50％的光束分裂而無需任何涂層。
分束器與材料的典型工作波長范圍。
| Fused Silica可見光紅外熔融石英 | 0.4-1.1μm（25,000-9,000 cm -1） 或0.65-3.0μm（15,000-3,300 cm -1） |
| CaF2氟化鈣 | 0.65-8.5μm（15,000-1,200 cm -1） |
| BaF2氟化鋇 | 0.65-12μm（15,000-850 cm -1） |
| ZnSe硒化鋅 | 2-20μm（5,000-500 cm -1） |
| HRFZ-Si高阻硅 | 50-1000μm（200-10 cm -1） |
規(guī)格和公差
為了實(shí)現(xiàn)FTIR光譜儀的高分辨率，應(yīng)該以非常高的精度生產(chǎn)分束器/補(bǔ)償器對。特別是表面平整度，楔形公差和厚度匹配是非常重要的。
可實(shí)現(xiàn)的規(guī)格：
| 直徑，mm | 到100 |
| 表面平整度，λ為633 nm | 到1/10 |
| 楔形公差，弧秒 | 到+/- 10 |
| 厚度匹配，μm | 到1 |
最佳可能的規(guī)格取決于材料和參數(shù)組合。
涂層
為了對準(zhǔn)目的，涂層的組合圖案可以施加在FTIR分束器/補(bǔ)償器的表面上。可見光束的“窗口” - 取決于干涉儀的尺寸設(shè)計(jì)的特殊形狀的可見區(qū)域與IR區(qū)域一起放置。典型的涂層圖案如下圖所示。
| 部分 | 區(qū)域 | 涂層類型 | 反射/透射 |
| 分束器 | A | 部分反射 | R / T = 50％/ 50％@ 633nm |
| B | 部分反射 | R / T =（50/50 +/- 10 ）％@7-14μm 或R / T =（50/50 +/- 20）％@2.5-14μm | |
| C | AR | R <0。5％@ 633 nm | |
| D | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm | |
| 補(bǔ)償器 | A | AR | R <0。5％@ 633 nm |
| B | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm | |
| C | AR | R <0。5％@ 633 nm | |
| D | BBAR | R ave <4 ％@7-14μm 或R ave <5％@2.5-14μm |
圖2和表3 ZnSe分束器/補(bǔ)償器對的涂層圖（例）。
圖3 ZnSe分束器/補(bǔ)償器對的典型透射曲線。
可根據(jù)要求提供其他涂層圖案和涂層類型。
屹持光電長期為FTIR光譜儀提供分束器/補(bǔ)償器對（無涂層和涂層成品部件的基板），為歐洲，美國和遠(yuǎn)東地區(qū)的客戶提供服務(wù)。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 型號(hào) | 直徑 | 厚度 |
| BS-KBr-D50.8-T3.5 | 50.8mm | 3.5mm |
| W-KBr-D50.8-T3.5 | 50.8 | 3.5mm |
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